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キヤノン(7751)半導体露光装置の米MTI社を買収

2014-02-14
  キヤノン <7751> は、産業機器分野の強化を実現するためのパートナーとして、米国のモレキュラーインプリント社(テキサス州、MTI社)を買収し、微細化を実現する次世代半導体露光装置の早期実用化を目指す。

  MTI社は、次世代半導体露光装置であるナノインプリント装置の研究・開発を行う会社で、ナノインプリント装置に必要な先端微細加工で世界トップレベルの技術力を有している。同技術を用いた半導体露光装置は、高解像度、優れた重ね合わせ精度、低コストの三つの利点があり、メモリーの生産に加え、将来的には将来的にはロジックICの生産にも応用が見込まれている。

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